アブソリュート・フィルタ・GIGA(ULPA) ミニプリーツ（型式：GA5）

PRODUCT製品情報

0.1-0.2μm粒子に対して99.999%(5N)または99.9999%(6N)の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。
PTFEろ材により、有機物の発生を大幅に削減押さえると共にボロンの発生を無くしています。