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フィルタ

アウトガス対策

アブソリュート・フィルタ・PTFE(ULPA) ミニプリーツ(型式:GB5)

0.1-0.2μm粒子に対して99.9999%(6N)の効率を保証するフィルタです。
フッ酸を使用する洗浄装置に最適なULPAフィルタです。
PTFEろ材により、ボロン発生を無くしています。(ボロンフリー)

ULPAフィルタ標準仕様表

製作可能寸法