PRODUCT製品情報
フィルタ
アウトガス対策
アブソリュート・フィルタ・PTFE(ULPA) ミニプリーツ（型式：GB6）
0.1-0.2μm粒子に対して99.99999%(7N)の効率を保証するフィルタです。
フッ酸を使用する洗浄装置に最適なULPAフィルタです。
PTFEろ材により、ボロン発生を無くしています。(ボロンフリー)
ULPAフィルタ標準仕様表
製作可能寸法
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