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フィルタ

アウトガス対策

アブソリュート・フィルタ・GIGA(HEPA) ミニプリーツ(型式:GG1T)

0.3μm粒子に対して99.97%または99.99%の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのHEPAフィルタです。
グラスファイバーろ材により、ボロンの発生を大幅に削減しています。

ULPAフィルタ標準仕様表

製作可能寸法