PRODUCT製品情報
フィルタ
アウトガス対策
アブソリュート・フィルタ・GIGA(ULPA) ミニプリーツ(型式:GGX2T)
0.1-0.2μm粒子に対して99.99999%(7N)の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。
グラスファイバーろ材により、有機物・ボロンの発生を大幅に削減しています。
0.1-0.2μm粒子に対して99.99999%(7N)の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。
グラスファイバーろ材により、有機物・ボロンの発生を大幅に削減しています。
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