ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社

アブソリュート・フィルタ・GIGA(ULPA) ミニプリーツ（型式：GM2T）

0.1-0.2μm粒子に対して99.9997%(5N7)の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。
グラスファイバーろ材により、有機物・ボロンの発生を大幅に削減しています。