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フィルタ

アウトガス対策

アブソリュート・フィルタ・GIGA(ULPA) ミニプリーツ(型式:GM2T)

0.1-0.2μm粒子に対して99.9997%(5N7)の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。
グラスファイバーろ材により、有機物・ボロンの発生を大幅に削減しています。

ULPAフィルタ標準仕様表

製作可能寸法