ケンブリッジ・ファンフィルタユニット

用途

  1. 製造装置、検査機器に応じた寸法と能力で設計します。
  2. 内蔵フィルタは、ＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、オフガス対策ケミカル搭載等、 ニーズに応じた設計をします。
  3. 操作はタッチパネル採用で簡単です。
  4. 風量調整は１００段階切り替えで微細調整が可能です。

仕様・オプション