アブソリュート・フィルタ・GIGA(ULPA) ミニプリーツ（型式：GM2T）
製品特長
0.1-0.2μm粒子に対して99.9997%(5N7)の効率を保証するフィルタです。
生産装置・システム天井向けのULPAフィルタです。
グラスファイバーろ材により、有機物・ボロンの発生を大幅に削減しています。
材質・使用条件
ULPAフィルタ標準仕様表
製作可能寸法
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