アブソリュート・フィルタ・PTFE(ULPA) ミニプリーツ（型式：GB5）
製品特長
0.1-0.2μm粒子に対して99.9999%(6N)の効率を保証するフィルタです。
フッ酸を使用する洗浄装置に最適なULPAフィルタです。
PTFEろ材により、ボロン発生を無くしています。(ボロンフリー)
材質・使用条件
ULPAフィルタ標準仕様表
製作可能寸法
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